平面检测-高分辨率TMR阵列探头

该系列探头含大规模、高分辨率、高灵敏度量子隧穿效应磁阻阵列传感器。量子隧穿效应磁阻（TMR）传感器由多层磁性材料构造而成，包括导电层、合成反磁耦合层、偏置层、隧道层（绝缘层）和自由反转层等。在纳米尺度下，电子能够基于量子隧道效应穿越其中的绝缘层。当自由反转层与偏置层的磁化方向相同时，电子更容易隧穿过绝缘层，传感器的电阻是敏感轴方向磁场的函数。TMR传感器具有灵敏度高、体积小、功耗低、频率范围宽的优点，适合用于电磁检测成像。

该系列探头可用于检测动力电池、不锈钢、钢铁、铝、铜、钛、锆、焊缝等金属结构表面和埋藏的缺陷和异常，适用于飞机多层结构检测、金属表面微小缺陷检测，管材埋藏缺陷检测，焊缝埋藏缺陷检测，保温层下缺陷检测等。

产品特点

• 定制传感器晶圆
• 微纳加工阵列芯片制备
• 大规模传感器阵列
• 高分辨率、高灵敏度磁场图像
• 可定制不同形状和空间分辨率的阵列